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马达、驱动器、半导体制造装置以及平板显示器制造装置制造方法及图纸
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下载马达、驱动器、半导体制造装置以及平板显示器制造装置的技术资料
文档序号:16389515
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提供一种能够更可靠地防止在内部产生的灰尘流出到外部的马达。马达(1)具有:定子(21);转子(22);转子外壳(42),其与转子(22)一起旋转;定子外壳(41),定子(21)固定于该定子外壳(41),并且在该定子外壳(41)与转子外壳(4...
该专利属于日本精工株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本精工株式会社授权不得商用。
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