马达、驱动器、半导体制造装置以及平板显示器制造装置制造方法及图纸

提供一种能够更可靠地防止在内部产生的灰尘流出到外部的马达。马达(1)具有：定子(21)；转子(22)；转子外壳(42)，其与转子(22)一起旋转；定子外壳(41)，定子(21)固定于该定子外壳(41)，并且在该定子外壳(41)与转子外壳(42)之间设有空间(100A、100B)，该定子外壳(41)在整个周向上隔开第1间隙(6A、6B)与转子外壳(42)重叠；圆环构件(10、18)，其在空间(100A、100B)内，在整个周向上隔开第2间隙(8A、8B)与定子外壳(41)重叠；排气孔(13A、13B)，其用于经由第2间隙(8A、8B)抽吸并排出空间(100A、100B)的内部的空气；以及排气槽(12A、12B)，其介于第2间隙(8A、8B)与排气孔(13A、13B)之间，沿着第2间隙(8A、8B)设于定子外壳(41)的整个周向上。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】马达、驱动器、半导体制造装置以及平板显示器制造装置
本专利技术涉及马达、驱动器、半导体制造装置以及平板显示器制造装置。
技术介绍
应用于半导体制造装置、平板显示器制造装置的马达、使用了该马达的驱动器要求有较高的可靠性。另外，在半导体、平板显示器等的制造中，为了避免灰尘混入制造物，需要清洁环境下的制造工序。在这样的清洁环境下使用的马达、驱动器为了确保较高的可靠性，需要防止在马达、驱动器的内部产生的灰尘流出到外部。例如，在专利文献1中记载有这样一种密封装置：通过自两个凸缘部之间的空气室抽吸空气，从而自凸缘部与工作轴之间的间隙抽吸空气，防止来自非清洁环境的垃圾侵入清洁环境内。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开平09-29682号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题专利文献1所述的密封装置自清洁环境侧的凸缘部与工作轴之间的间隙、以及非清洁环境侧的凸缘部与工作轴之间的间隙这两者抽吸空气，而认为会在空气室内产生压力分布。另外，在清洁环境侧和非清洁环境侧之间存在压力差的情况下，空气自非清洁环境侧漏出到清洁环境侧，而可能污染清洁环境。本专利技术即是鉴于上述情况而做成的，其目的在于提供一种能够更可靠地防止在内部产生的灰尘流出到外部的马达。用于解决问题的方案为了解决上述课题并达成目的，本专利技术提供一种马达，该马达具有：定子，其包括线圈和定子芯；转子，其配置于所述定子的径向外侧，能相对于所述定子相对旋转；转子外壳，其与所述转子一起旋转；定子外壳，所述定子固定于该定子外壳，并且在该定子外壳与所述转子外壳之间设有空间，该定子外壳在整个周向上隔开第1间隙与所述转子外壳重叠；轴承，其相对于所述定子外壳以旋转自如的方式支承所述转子外壳；圆环构件，其在所述空间内，在整个周向上隔开第2间隙与所述定子外壳重叠；排气孔，其用于经由所述第2间隙抽吸并排出所述空间的内部的空气；以及排气槽，其介于所述第2间隙与所述排气孔之间，沿着所述第2间隙设于所述定子外壳的整个周向上。根据上述结构，通过在形成于定子外壳的排气孔连接抽吸排气装置并使抽吸排气装置工作，从而自节气部均匀地吸出马达的内部的空气。由此，能够可靠地防止在马达的内部产生的灰尘流出到外部。另外，作为期望的方式，优选的是，所述定子外壳包括：第1定子外壳，其由在以所述转子的旋转中心为轴心的轴线方向夹持所述轴承的内圈的至少两个构件形成；第2定子外壳，其设于所述第1定子外壳的所述轴线方向上的一端侧，在该第2定子外壳与所述第1定子外壳之间设有第1所述排气槽，并且固定有第1所述圆环构件，在该第2定子外壳与第1所述圆环构件之间设有所述第1间隙；以及第3定子外壳，其设于所述第1定子外壳的所述轴线方向上的另一端侧，在该第3定子外壳与所述第1定子外壳之间设有第2所述排气槽，并且固定有第2所述圆环构件，在该第3定子外壳与第2所述圆环构件之间设有所述第1间隙，所述转子外壳由在所述轴线方向上夹持所述轴承的外圈的至少两个构件形成，在所述转子外壳与所述第2定子外壳之间设有所述第1间隙，并且所述转子外壳与所述第1定子外壳、所述第2定子外壳以及所述轴承一起划分出第1所述空间，在所述转子外壳与所述第3定子外壳之间设有所述第1间隙，并且所述转子外壳与所述第2定子外壳、所述第3定子外壳、所述轴承一起划分出第2所述空间。根据上述结构，通过在第1排气孔连接抽吸排气装置并使抽吸排气装置工作，从而自第1排气孔均匀地吸出由第1定子外壳、第2定子外壳、转子外壳以及轴承包围起来的马达的内部的第1空间的空气，并自第1密封部向第1空间均匀地吸入空气。由此，能够可靠地防止在第1空间产生的灰尘流出到外部。另外，通过在第2排气孔连接抽吸排气装置并使抽吸排气装置工作，从而自第2排气孔均匀地吸出由第1定子外壳、第3定子外壳、转子外壳以及轴承包围起来的马达的内部的第2空间的空气，并自第2密封部向第2空间均匀地吸入空气。由此，能够可靠地防止在第2空间产生的灰尘流出到外部。另外，能够减少用于管理形成第1节气部的第2间隙的精度和形成第2节气部的第2间隙的精度的管理项，其结果，能够提高马达的制造时的成品率。另外，也可以是，第1所述圆环构件在与所述第2定子外壳相对的面设有用于在其与所述第2定子外壳之间形成所述第2间隙的台阶。另外，也可以是，所述第2定子外壳在与第1所述圆环构件相对的面设有用于在其与所述第2定子外壳之间形成所述第2间隙的台阶。另外，也可以是，该马达包括间隔构件，该间隔构件介于第1所述圆环构件与所述第2定子外壳之间，用于在第1所述圆环构件与所述第2定子外壳之间设置所述第2间隙。另外，也可以是，第2所述圆环构件在与所述第3定子外壳相对的面设有用于在其与所述第3定子外壳之间形成所述第2间隙的台阶。另外，也可以是，所述第3定子外壳在与第2所述圆环构件相对的面设有用于在其第2所述圆环构件之间形成所述第2间隙的台阶。另外，也可以是，该马达包括间隔构件，该间隔构件介于第2所述圆环构件与所述第3定子外壳之间，用于在第2所述圆环构件与所述第3定子外壳之间设置所述第2间隙。另外，作为期望的方式，优选的是，所述第2定子外壳在与所述第1定子外壳在径向上重叠的嵌合面设有槽部，在该槽部设有O形密封圈。根据上述结构，能够确保第1定子外壳和第2定子外壳在径向上重叠的嵌合面的气密性。另外，能够降低第1定子外壳与第2定子外壳之间的嵌合面的加工精度，能够扩大容许范围。其结果，成品率提高。另外，也可以是，在所述第2定子外壳设有第1所述排气孔，在所述第3定子外壳设有第2所述排气孔。另外，作为期望的方式，优选的是，第1所述排气孔以将所述第2定子外壳、所述第1定子外壳以及所述第3定子外壳连通的方式设置，第2所述排气孔设于所述第3定子外壳。根据上述结构，能够扩大在第2定子外壳的轴线方向上端部开口的中空直径。另外，也可以是，第1所述排气孔在所述第3定子外壳的所述轴线方向上的另一端设有开口部，第2所述排气孔在所述第3定子外壳的周向表面设有开口部。另外，作为期望的方式，优选的是，所述排气孔以将所述第2定子外壳、所述第1定子外壳以及所述第3定子外壳连通、并连结第1所述排气槽和第2所述排气槽的方式设置。根据上述结构，通过在排气孔连接一个抽吸排气装置并使抽吸排气装置工作，从而自排气孔均匀地吸出第1空间和第2空间的空气，并自第1密封部向第1空间均匀地吸入空气以及自第2密封部向第2空间均匀地吸入空气。由此，能够可靠地防止在第1空间和第2空间产生的灰尘流出到外部。另外，也可以是，所述排气孔在所述第3定子外壳的径向外侧的周向表面设有开口部。另外，也可以是，所述排气孔在所述第3定子外壳的所述轴线方向上的另一端设有开口部。另外，作为期望的方式，优选的是，所述排气孔在所述第3定子外壳的径向外侧的周向表面、以及所述第3定子外壳的所述轴线方向上的另一端设有开口部，任一侧的开口部被密封。根据上述结构，能够在设于第3定子外壳的轴线方向下端部的开口部和设于第3定子外壳的径向外侧的周向表面的开口部之间选择用于连接抽吸排气装置的排气孔的开口部，而能够获得通用性更高的马达。另外，也可以是，所述第2定子外壳隔着第1所述圆环构件固定于所述第1定子外壳。另外，也可以是，第1所述圆环构件与所述第1定子外壳一体化。另外，也可以是，所述第3定子外壳隔着本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种马达，其具有：定子，其包括线圈和定子芯；转子，其配置于所述定子的径向外侧，能相对于所述定子相对旋转；转子外壳，其与所述转子一起旋转；定子外壳，所述定子固定于该定子外壳，并且在该定子外壳与所述转子外壳之间设有空间，该定子外壳在整个周向上隔开第1间隙与所述转子外壳重叠；轴承，其相对于所述定子外壳以旋转自如的方式支承所述转子外壳；圆环构件，其在所述空间内，在整个周向上隔开第2间隙与所述定子外壳重叠；排气孔，其用于经由所述第2间隙抽吸并排出所述空间的内部的空气；以及排气槽，其介于所述第2间隙与所述排气孔之间，沿着所述第2间隙设于所述定子外壳的整个周向上。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.02.09 JP 2015-0233231.一种马达，其具有：定子，其包括线圈和定子芯；转子，其配置于所述定子的径向外侧，能相对于所述定子相对旋转；转子外壳，其与所述转子一起旋转；定子外壳，所述定子固定于该定子外壳，并且在该定子外壳与所述转子外壳之间设有空间，该定子外壳在整个周向上隔开第1间隙与所述转子外壳重叠；轴承，其相对于所述定子外壳以旋转自如的方式支承所述转子外壳；圆环构件，其在所述空间内，在整个周向上隔开第2间隙与所述定子外壳重叠；排气孔，其用于经由所述第2间隙抽吸并排出所述空间的内部的空气；以及排气槽，其介于所述第2间隙与所述排气孔之间，沿着所述第2间隙设于所述定子外壳的整个周向上。2.根据权利要求1所述的马达，其中，所述定子外壳包括：第1定子外壳，其由在以所述转子的旋转中心为轴心的轴线方向上夹持所述轴承的内圈的至少两个构件形成；第2定子外壳，其设于所述第1定子外壳的所述轴线方向上的一端侧，在该第2定子外壳与所述第1定子外壳之间设有第1所述排气槽，并且固定有第1所述圆环构件，在该第2定子外壳与第1所述圆环构件之间设有所述第1间隙；以及第3定子外壳，其设于所述第1定子外壳的所述轴线方向上的另一端侧，在该第3定子外壳与所述第1定子外壳之间设有第2所述排气槽，并且固定有第2所述圆环构件，在该第3定子外壳与第2所述圆环构件之间设有所述第1间隙，所述转子外壳由在所述轴线方向上夹持所述轴承的外圈的至少两个构件形成，在所述转子外壳与所述第2定子外壳之间设有所述第1间隙，并且所述转子外壳与所述第1定子外壳、所述第2定子外壳以及所述轴承一起划分出第1所述空间，在所述转子外壳与所述第3定子外壳之间设有所述第1间隙，并且所述转子外壳与所述第2定子外壳、所述第3定子外壳、所述轴承一起划分出第2所述空间。3.根据权利要求2所述的马达，其中，第1所述圆环构件在与所述第2定子外壳相对的面设有用于在其与所述第2定子外壳之间形成所述第2间隙的台阶。4.根据权利要求2所述的马达，其中，所述第2定子外壳在与第1所述圆环构件相对的面设有用于在其与所述第2定子外壳之间形成所述第2间隙的台阶。5.根据权利要求2所述的马达，其中，该马达包括间隔构件，该间隔构件介于第1所述圆环构件与所述第2定子外壳之间，用于在第1所述圆环构件与所述第2定子外壳之间设置所述第2间隙。6.根据权利要求2所述的马达，其中，第2所述圆环构件在与所述第3定子外壳相对的面设有用于在其与所述第3定子外壳之间形成所述第2间隙的台阶。7.根据权利要求2所述的马达，其中，所述第3定子外壳在与第2所述圆环构件相对的面设有用于在其第2所述圆环构件之间形成所述第2间隙的台阶。8.根据权利要求2所述的马达，其中，该马达包括间隔构件，该间隔构件介于第2所述圆环构件与所述第3...

【专利技术属性】
技术研发人员：樋口英也，中村刚，渡边逸男，
申请(专利权)人：日本精工株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP