下载形成分裂栅存储器单元阵列及低和高电压逻辑器件的方法的技术资料

文档序号:16389025

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本发明公开了一种在具有存储器区域、LV区域和HV区域的衬底上形成存储器设备的方法,该方法包括在存储器区域中形成数对间隔开的存储器叠堆;在衬底上方形成与衬底绝缘的第一导电层;在第一导电层上形成第一绝缘层并从存储器区域和HV区域去除第一绝缘层;...
该专利属于硅存储技术公司所有,仅供学习研究参考,未经过硅存储技术公司授权不得商用。

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