下载绝缘栅功率半导体装置以及用于制造这种装置的方法的技术资料

文档序号:16389022

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绝缘栅功率半导体装置(1)具有发射极侧(22)与集电极侧(27)之间的(n‑)掺杂漂移层(5)。沟槽栅电极(7)具有沟槽底部(76)和沟槽横向侧(75),并且延伸到沟槽深度(77)。p掺杂第一保护枕(8)覆盖沟槽底部(76)。n掺杂第二保护...
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