下载三维芯片集成电路冷却系统的技术资料

文档序号:16387828

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本案提供一种三维芯片集成电路冷却系统,用以对三维芯片集成电路进行散热。三维芯片集成电路是由主芯片层与多个中间芯片层相互堆叠而成,并具有多个流体微通道。三维芯片集成电路冷却系统包含载体以及流体泵。载体对应设置于三维芯片集成电路的一侧,具有导入...
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