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目的在于提供一种能够进一步降低对基板的负荷的薄膜制造装置。一种薄膜制造装置，其将含有薄膜的形成材料的溶液的雾供给至基板而在所述基板上形成薄膜，其特征在于具备：等离子体产生部，其具有配置于所述基板的一个面侧的第1电极和第2电极，使所述第1电极...
该专利属于株式会社尼康;国立大学法人熊本大学所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社尼康;国立大学法人熊本大学授权不得商用。

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