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本发明公开了一种采用沉积法制备氧化钛薄膜的方法，本发明有效解决了氧化物透明导电薄膜与柔性聚酯基底匹配性不好，附着性差，容易发生脱落的关键性问题，本采用原子层沉积方法，基于TiO2自身的优异的宽禁带性能，采用能够在较低温度下能够气化的三（乙基...
该专利属于苏州南尔材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州南尔材料科技有限公司授权不得商用。

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