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本发明提供了一种提高三氯氢硅选择性的方法，步骤如下：(1)取工厂废硅粉，把废硅粉放入塑料烧杯中，倒入氢氟酸并进行搅拌，然后进行抽滤、洗涤，最后把滤饼放进真空烘箱中进行烘干；(2)称取步骤1中氢氟酸处理过的废硅粉，装入固定床反应器中，然后把固...
该专利属于江苏大学所有，仅供学习研究参考，未经过江苏大学授权不得商用。

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