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一种垂直结构AlGaInP基发光二极管及其制造方法,属于光电子技术领域,在衬底正面依次设置DBR层、N限制层、有源层、P限制层、电流扩展层、粗化层,在部分粗化层上设置欧姆接触层,在欧姆接触层上设置正电极;特点是述粗化层设置有若干沟槽,在沟槽...
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