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高电子迁移率晶体管和其制造方法技术
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文档序号:16366549
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一种HEMT,其包括多个第一单个单元和至少一个第二单个单元,第二单个单元具有第一绝缘层,第一绝缘层垂直于衬底前侧地布置并且从衬底前侧延伸至二维电子气中,从而产生具有第一栅极连接端的第一单个晶体管和具有第二栅极连接端的第二单个晶体管,第一单个...
该专利属于罗伯特·博世有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过罗伯特·博世有限公司授权不得商用。
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