下载静电放电ESD保护器件和半导体装置的技术资料

文档序号:16366529

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本发明公开了一种ESD保护器件和半导体装置,涉及半导体技术领域。ESD保护器件包括:衬底结构,其包括衬底以及在衬底上的至少两个半导体鳍片,所述至少两个半导体鳍片包括分离的第一和第二鳍片,该衬底结构包括横向相邻并具有不同导电类型的第一和第二掺...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。

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