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本发明提供一种晶片载置装置。该晶片载置装置(30)具备：具有晶片载置面的陶瓷基体(32)、埋设于陶瓷基体(32)的加热电极(34)，以及从陶瓷基体(32)的与晶片载置面相反一侧的面电连接于加热电极(34)的Cu制的供电杆(36、37)。供电...
该专利属于日本碍子株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日本碍子株式会社授权不得商用。

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