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本发明提供一种无线无源声表面波振动传感器，包括天线，匹配电路，压电悬臂梁，由半导体工艺沉淀于压电悬臂梁上的反射型延迟线结构的SAW器件，位于悬臂梁自由端末端的质量振子和悬臂梁固定基座。叉指换能器与两个反射器构成SAW器件。制作于压电悬臂梁自...
该专利属于中电科技德清华莹电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中电科技德清华莹电子有限公司授权不得商用。

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