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基于杠杆传动的位移分辨率细化微纳操作平台制造技术
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文档序号:16364042
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本发明公开了一种基于杠杆传动的位移分辨率细化微纳操作平台,包括基体,在基体的上方位置设有杠杆机构,杠杆朝向或者背向平台运动部分一侧为厚度变化一侧,杠杆靠近基体端的两侧各设有一个压块,且两个压块的中轴线位于杠杠厚度最大处;杠杆机构靠近平台运动...
该专利属于山东大学所有,仅供学习研究参考,未经过山东大学授权不得商用。
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