下载低温泵的技术资料

文档序号:16363918

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本发明提供一种低温泵,其课题在于提高低温泵的吸留极限。本发明的低温泵具备:制冷机,其具备第1冷却台、具有前端台面的第2冷却台及沿轴向从第1冷却台朝向第2冷却台延伸的制冷机结构部;放射屏蔽件,其与第1冷却台热连接,放射屏蔽件具备屏蔽件前端及屏...
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