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本发明公开了一种多晶气冷硅铸锭炉,包括炉体、设置在所述炉体底部的DS台和设置在所述炉体与所述DS台之间的石墨底板,还包括设置在所述石墨底板与所述DS台之间的均衡导热板,所述均衡导热板设置有多个通孔,所述均衡导热板的通孔的面积从所述DS台的进...该专利属于晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种多晶气冷硅铸锭炉,包括炉体、设置在所述炉体底部的DS台和设置在所述炉体与所述DS台之间的石墨底板,还包括设置在所述石墨底板与所述DS台之间的均衡导热板,所述均衡导热板设置有多个通孔,所述均衡导热板的通孔的面积从所述DS台的进...