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一种在聚晶金刚石复合片上沉积CVD金刚石涂层的方法技术
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文档序号:16363182
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本发明涉及一种在聚晶金刚石复合片上沉积CVD金刚石涂层的方法,包括以下步骤:(1)取聚晶金刚石复合片机械打磨,酸洗,再超声振荡清洗,烘干,得到预处理的聚晶金刚石复合片基底;(2)取预处理后的聚晶金刚石复合片基底置入微波等离子化学气相沉积设备...
该专利属于同济大学所有,仅供学习研究参考,未经过同济大学授权不得商用。
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