下载压电陶瓷溅射靶材、无铅压电薄膜及压电薄膜元件的技术资料

文档序号:16361126

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本发明提供一种在无铅压电薄膜的制造中可以充分地抑制漏电的发生的压电陶瓷溅射靶材。所述压电陶瓷溅射靶材以化学式(I):ABO3所表示的钙钛矿型氧化物为主成分,其特征在于,所述化学式(I)的A成分至少含有K(钾)和/或Na(钠),所述化学式(I...
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