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本实用新型公开了一种护圈装置，用于化学机械研磨设备的研磨头，包括：固定环，用于固定套设于所述研磨头的上盖盘或保持环上；设置于所述固定环上的万向轮装置，所述万向轮装置至少为两个，且用于与所述化学机械研磨设备的研磨垫接触。本实用新型提出的护圈装...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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