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本发明公开了一种太赫兹滤波器，属于滤波器技术领域。其包含芯体和封装外壳，芯体内具有基于微机电系统和深反应离子刻蚀技术加工而成的矩形波导腔滤波器结构，封装外壳内具有与芯体的外部规格尺寸一致的芯体腔，封装外壳将芯体完全包裹，芯体腔的两端各设有一...
该专利属于中国电子科技集团公司第五十四研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第五十四研究所授权不得商用。

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