下载异物检测装置、异物检测方法以及玻璃板的制造方法的技术资料

文档序号:16344759

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本发明提供一种异物检测装置、异物检测方法以及玻璃板的制造方法。使检测附着于玻璃板的微小异物的精度提高。异物检测装置具备:照明部,其用于朝向玻璃板的表面照射红外光;摄像部,其用于拍摄玻璃板的被照射红外光的区域;以及判定部,其根据在由摄像部拍摄...
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