下载纳米压印方法和在纳米压印方法中采用的抗蚀剂组合物的技术资料

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[目标]为了在纳米压印方法中能够抑制模型由粘合物质的污染和形成具有足够的耐刻蚀性的抗蚀剂图案。[构造]纳米压印方法采用抗蚀剂组合物,所述抗蚀剂组合物包含可聚合化合物和聚合引发剂,其各自具有吸收区域在250nm至500nm的范围内的吸收光谱性...
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