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本申请涉及MEMS换能器，具有膜层(101)和至少一个可变通气部结构(301)。可变通气部结构具有：通气孔，以使流体通气，从而减小隔膜层两侧的压力差；及，可移动通气盖(302a，302b)，在平衡位置处至少部分地阻塞通气孔。通气盖响应于通气...该专利属于思睿逻辑国际半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过思睿逻辑国际半导体有限公司授权不得商用。
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