下载一种半导体器件结构及其制备方法的技术资料

文档序号:16329077

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本发明提供一种半导体器件结构及制备方法,制备方法包括步骤:提供一硅材料层;于硅材料层上形成中间结构,中间结构至少包括第一金属层,且第一金属层形成于硅材料层上表面,中间结构还包括第二金属层,第二金属层形成于第一金属层上,且第二金属层的材料与第...
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