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一种光学膜厚监控装置及监控方法，用于监控涂布基板上的涂层厚度，所述监控装置包括光感测系统和处理器，所述光感测系统与所述处理器电性连接；其中，所述光感测系统用于检测预涂滚筒上的涂层厚度，所述处理器用于根据所述预涂滚筒上的涂层厚度获取所述涂布基...
该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。

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