一种光学膜厚监控装置及监控方法制造方法及图纸

一种光学膜厚监控装置及监控方法，用于监控涂布基板上的涂层厚度，所述监控装置包括光感测系统和处理器，所述光感测系统与所述处理器电性连接；其中，所述光感测系统用于检测预涂滚筒上的涂层厚度，所述处理器用于根据所述预涂滚筒上的涂层厚度获取所述涂布基板上的涂层厚度。该装置通过将光学膜厚监控装置设置在预涂滚筒上以实时监控预涂滚筒上的涂层厚度，从而根据预涂滚筒上的涂层厚度获取涂布基板上的涂层厚度，实现了涂层厚度的实时监控。

【技术实现步骤摘要】
一种光学膜厚监控装置及监控方法
本专利技术涉及液晶显示
，尤其是涉及一种光学膜厚监控装置及监控方法。
技术介绍
显示屏中的彩膜基板一般通过将黑色矩阵(BM)、红色(R)光阻材料、绿色(R)光阻材料、蓝色(B)光阻材料、保护膜及间隔物涂布于涂布基板上，经过曝光、显影和烘干后形成。R光阻材料、G光阻材料和B光阻材料经过曝光、显影及烘干后分别形成R光阻、G光阻及B光阻。由于高精细和超薄化是当今显示屏技术的发展趋势，而超薄化要求对光阻的膜厚进行严格的管控。但在机台量产的过程中无法对膜厚进行监控，当出现断膜/膜厚不均等涂布异常时，无法及时发现，容易造成异常片后流，对后制程造成影响。现有技术公开了一种检测涂布基板膜厚的方法，该方法是直接对涂布基板上的膜厚进行检测，但当涂布基板上存在凹凸不均的图型时，光路散射会导致无法接收回射光，在实际生产中无法实现对涂布基板膜厚的监控。且生产中，为了防止光阻涂布头中的光阻因闲置一段时间后堵塞涂布头，通常在闲置一定时间或正式涂布前，在机台设置的预涂滚筒(Dummyroller)上做预计涂布动作。但是，目前的光阻涂布头进行膜厚调试时，需要使用玻璃涂布光阻后，再本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学膜厚监控装置，用于监控涂布基板上的涂层厚度，其特征在于，所述监控装置包括光感测系统和处理器，所述光感测系统与所述处理器电性连接；其中，所述光感测系统用于检测预涂滚筒上的涂层厚度，所述处理器用于根据所述预涂滚筒上的涂层厚度获取所述涂布基板上的涂层厚度。

【技术特征摘要】
1.一种光学膜厚监控装置，用于监控涂布基板上的涂层厚度，其特征在于，所述监控装置包括光感测系统和处理器，所述光感测系统与所述处理器电性连接；其中，所述光感测系统用于检测预涂滚筒上的涂层厚度，所述处理器用于根据所述预涂滚筒上的涂层厚度获取所述涂布基板上的涂层厚度。2.根据权利要求1所述的光学膜厚监控装置，其特征在于，所述光感测系统包括光源发射系统、信号接收系统和计算单元，所述计算单元分别与所述光源发射系统和所述信号接收系统电性连接；其中，所述光源发射系统用于向所述预涂滚筒表面发射入射光；所述信号接收系统，在涂布涂层前用于接收所述入射光经所述预涂滚筒表面反射后的第一反射光，在涂布涂层后用于接收所述入射光经所述预涂滚筒上的涂层表面反射后的第二反射光；所述计算单元根据信号接收系统接收到的反射光信号得到所述预涂滚筒上的涂层厚度。3.根据权利要求1所述的光学膜厚监控装置，其特征在于，所述处理器包括数据库，所述数据库用于存储所述预涂滚筒上的涂层厚度和所述涂布基板上的涂层厚度的对应关系。4.根据权利要求2所述的光学膜厚监控装置，其特征在于，所述光源发射系统包括光源以及沿所述光源发出的光的前进方向上依次设置的狭缝和第一会聚镜，所述信号接收系统包括沿光的反射方向上依次设置的第二会聚镜和线性传感器；其中，所述线性传感器包括受光单元和放大器，所述受光单元用于接收所述第一反射光和所述第二反射光，所述放大器用...

【专利技术属性】
技术研发人员：孟小龙，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44