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本发明提供一种低温泵、低温泵控制装置及低温泵控制方法。本发明的课题在于缩短低温泵的冷却时间。低温泵(10)具备：一级目标温度选择部(112)，其具备使一级低温板的温度及二级低温板的温度保持在超低温区域的通常模式用的通常目标温度和使一级低温板...
该专利属于住友重机械工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友重机械工业株式会社授权不得商用。

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