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本发明公开了一种超长N型硅芯圆棒的生产工艺，包括如下步骤：装料——化料——安定——引晶——等径——收尾——冷却。本发明中通过晶体生长过程中氩气流量的控制，以此保证晶体热量缓慢的散失。调整设备工艺参数，包括升高石墨加热器的加热功率、降低晶体的...
该专利属于南通综艺新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南通综艺新材料有限公司授权不得商用。

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