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本申请描述了具有柔性膜的MEMS换能器，并且寻求减轻和/或重分布膜层内的应力。描述了具有第一/活性区域和第二/非活性区域的膜。...
该专利属于思睿逻辑国际半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过思睿逻辑国际半导体有限公司授权不得商用。

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