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文档序号:16308769

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提高沟槽的内壁的绝缘膜的可靠性。提供一种半导体基板,该半导体装置具备:半导体基板、形成在半导体基板的正面的虚设沟槽部、以及形成在半导体基板的正面的上方的、含有金属的第1正面侧电极,虚设沟槽部具有:形成在半导体基板的正面的虚设沟槽、形成在虚设...
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