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一种用液体(4)处理基板(14)的设备(24,24a‑d)，该设备(24,24a‑d)具有输送装置(26)，通过该输送装置可沿输送方向(18)输送基板(14)通过包含液体(4)的容器(28)；该容器(28)包括具有边缘(32,44,54,6...
该专利属于雷纳技术有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过雷纳技术有限责任公司授权不得商用。

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