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文档序号:16307560
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本发明提供的观察装置,能够以10微米以下的分辨率并且超过45度的较大倾斜角来观察例如24.6×24.6mm左右的物体面。观察装置(10)具备感光面(20)和使来自物体面S的光在感光面(20)成像的成像光学系统(30)。成像光学系统(30)包...
该专利属于株式会社目白67所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社目白67授权不得商用。
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