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提供一种处理腔室，该处理腔室包含连接在一起以限定空间的顶部、底部与侧壁。基板支撑件设置于该空间。该处理腔室进一步包含面向该基板支撑件的一个或多于一个灯头，每一灯头都包括沿着平面设置的灯具布置。该灯具布置由中心与多个同心环形区域所限定。每一环...
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