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本实用新型涉及一种真空蚀刻机，包括机体，机体内设有均由若干个转动轴组成的上、下两个输送系统，所述机体外设有真空吸管工作泵浦，真空吸管工作泵浦的出口端连接由三个文氏管组成的三通管的主管的一端，三通管的主管的另一端接入主槽内，三通管的支管连接有...
该专利属于郭立德所有，仅供学习研究参考，未经过郭立德授权不得商用。

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