温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种研磨用组合物，即使将其用于对含有标准电极电位为‑0.45V以上且0.33V以下的过渡金属的研磨对象物的研磨中，也不容易对研磨对象物产生蚀刻、腐蚀。研磨用组合物含有磨粒以及金属保护用有机化合物。金属保护用有机化合物含有相互作用官...
该专利属于福吉米株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过福吉米株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。