下载氧化物烧结体、氧化物溅射靶和氧化物薄膜的技术资料

文档序号:16305092

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一种烧结体,其特征在于,包含锌(Zn)、镓(Ga)、硅(Si)和氧(O),Zn含量按ZnO换算为5~60摩尔%,Ga含量按Ga2O3换算为8.5~90摩尔%,Si含量按SiO2换算为0~45摩尔%,在将按ZnO换算的Zn含量设为A(摩尔%)...
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