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本文公开并且要求保护的是用于形成旋涂硬掩膜的组合物，其具有富勒烯衍生物和交联剂。还公开了用于形成硬掩膜的工艺。...
该专利属于亚历克斯·菲利普·格雷厄姆·罗宾逊;安德烈亚斯·弗罗姆霍尔德;艾伦·布朗;汤姆·拉达所有，仅供学习研究参考，未经过亚历克斯·菲利普·格雷厄姆·罗宾逊;安德烈亚斯·弗罗姆霍尔德;艾伦·布朗;汤姆·拉达授权不得商用。

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