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累崩型光检测器元件及其制作方法技术
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文档序号:16302132
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本发明公开一种累崩型光检测器元件及其制作方法。其中累崩型光检测器(avalanche photodetector,APD)元件,包含有一具有一正面与一背面的基底、至少一设置于该基底的该正面的APD结构、多个设置至于该基底的该背面的散热结构、...
该专利属于联华电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过联华电子股份有限公司授权不得商用。
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