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一种薄膜晶体管及其制造方法、阵列基板、显示装置制造方法及图纸
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下载一种薄膜晶体管及其制造方法、阵列基板、显示装置的技术资料
文档序号:16302125
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本发明实施例提供了一种薄膜晶体管及其制造方法、阵列基板、显示装置,涉及显示技术领域。该薄膜晶体管包括有源层,有源层包括:沟道区、第一掺杂区和第二掺杂区;第二掺杂区位于第一掺杂区远离沟道区的一侧,且第二掺杂区的掺杂离子浓度大于第一掺杂区的掺杂...
该专利属于厦门天马微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过厦门天马微电子有限公司授权不得商用。
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