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本发明涉及半导体领域,公开了一种倒装焊芯片的制作方法及裸芯片组件。本发明中,在已完成金属溅射工艺的裸芯片的预设位置进行金属化层蚀刻;其中,预设位置为裸芯片上待电镀铜柱位置以外的区域;在裸芯片的预设位置覆盖薄膜保护层,并固化薄膜保护层;在待电...该专利属于联芯科技有限公司;大唐半导体设计有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过联芯科技有限公司;大唐半导体设计有限公司授权不得商用。
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本发明涉及半导体领域,公开了一种倒装焊芯片的制作方法及裸芯片组件。本发明中,在已完成金属溅射工艺的裸芯片的预设位置进行金属化层蚀刻;其中,预设位置为裸芯片上待电镀铜柱位置以外的区域;在裸芯片的预设位置覆盖薄膜保护层,并固化薄膜保护层;在待电...