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一种LED晶圆快速退火炉的校温方法，属于半导体材料的生产技术领域，本发明在横向温场校准后另外增加纵向温场的校准，以保证LED晶圆在快速退火过程中平面与翘曲面温度基本一致，以确保退火的效果，很好地解决了因翘曲导致温场不一致的问题，使LED晶圆...
该专利属于扬州乾照光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过扬州乾照光电有限公司授权不得商用。

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