下载一种三维微结构的刻蚀方法及其应用的技术资料

文档序号:16302043

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本发明公开了一种三维微结构的刻蚀方法,该方法包括如下步骤:将抑制刻蚀的微纳米粒子的悬浮液涂覆在基片表面上,干燥处理,使微纳米粒子沉积在基片表面上,再将基片用刻蚀液进行刻蚀,得到表面具有三维凹陷微结构的基片。使用该方法制作的基片表面具有若干个...
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