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本发明提供一种用于准确地测量离子束的角度重心的技术。角度测量装置(48)具备：狭缝(62)，供离子束入射，并且狭缝宽度方向是与朝向晶片的离子束的射束行进方向正交的方向；及多个电极体(64a～64g)，设置在射束行进方向上远离狭缝(62)的位...
该专利属于住友重机械离子技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过住友重机械离子技术有限公司授权不得商用。

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