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本发明提供一种离子注入装置及扫描波形制作方法，其课题为在衬底表面准确地实现不均匀的二维离子注入量分布。本发明的离子注入装置(10)具备：射束扫描仪(26)，沿射束扫描方向提供往复射束扫描；第2射束测量部(50)，在射束扫描仪(26)的下游测...
该专利属于住友重机械离子技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过住友重机械离子技术有限公司授权不得商用。

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