下载分光传感器的技术资料

文档序号:16287313

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分光传感器(1)具备:具有空腔层(21)以及经由空腔层(21)而相对的第1以及第2镜层(22,23)并且对应于入射位置选择性地使规定的波长范围的光透过的干涉滤光部(20)、被配置于第1镜层(22)侧并且使入射到干涉滤光部(20)的光透过的光...
该专利属于浜松光子学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过浜松光子学株式会社授权不得商用。

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