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本实用新型提出了一种研磨垫调整器，用于对研磨垫进行修整，包括衬底、位于衬底表面的多个调整颗粒以及用于将所述调整颗粒固定在所述衬底表面的连接物，所述衬底的边缘设有凹陷区。使用衬底边缘设有凹陷区的研磨垫调整器，由于所述衬底边缘存在凹陷区，位于所...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

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