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本实用新型公开了一种真空沉积系统及其旋转馈入装置。真空沉积系统包括旋转馈入装置及真空腔室。旋转馈入装置安装于真空腔室的安装孔，其包括第一固定组件、传动轴、第一动密封组件及第一直驱马达；第一固定组件的第一固定座上设有轴孔；第一动密封组件安装于...
该专利属于南方科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过南方科技大学授权不得商用。

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