The utility model discloses a vacuum deposition system and a rotary feed in device thereof. The vacuum deposition system includes a rotating feed device and a vacuum chamber. The installation hole of the rotating feed device is installed in the vacuum chamber, which comprises a first fixed component, a transmission shaft, the first sealing component and a drive motor has a first fixed component; the first fixed seat is provided with a shaft hole; the first seal assembly is installed in the shaft hole; the transmission shaft passes through the first rotation around its axial dynamic sealing component; the first drive motor is mounted to the first fixed component. Used as a power source for direct drive motor, the drive motor always can directly drive the transmission shaft to rotate with the more simple, simple structure and makes the entire rotating feed device and saves the cost of the device, and the convenience of equipment installation and maintenance; the drive motor drive sound has been small, long service life, precision control more accurately, the vibration is small, can effectively ensure the high precision and no pollution of vacuum deposition system.
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及真空沉积镀膜，尤其涉及一种真空沉积系统及其旋转馈入装置，可应用于TFT-LCD、太阳能薄膜电池、半导体芯片、晶圆等薄膜工艺制备和生产的真空镀膜系统中。
技术介绍
薄膜沉积模块的生产包括将基片（例如玻璃板）运入且运出沉积系统中的一个或多个真空室，在沉积系统，半导体材料的薄膜层被沉积至基片的表面上。该沉积过程可以是任何已知的过程，例如封闭空间升华系统(CSS)，化学气象沉积系统(CVD)或物理气象沉积系统（PVD）。输送基片通过真空室结构的沉积系统典型地使用受驱动的输送机或其他合适的输送装置。在维持结构内高真空状态的同时，需要在真空室内建立受控制的旋转运动以驱动输送机。为该目的而提供的传统的旋转馈入是相对复杂且通常需要由室壁内或室壁外的轴承支撑的通轴。该轴又可操作地连接至齿轮箱或马达，马达经由直接联接、带传动或链传动提供旋转驱动。现有技术中一种用于真空室结构的旋转馈入装置，应用于太阳能光伏产业。其旋转馈入装置包括具有外壳和轴的齿轮箱，轴由...
【技术保护点】
一种旋转馈入装置，其特征在于，包括第一固定组件、传动轴、第一动密封组件及第一直驱马达；所述第一固定组件包括第一固定座，所述第一固定座上设有轴孔；所述第一动密封组件安装于所述轴孔中，用于所述传动轴与所述第一固定座之间的密封；所述传动轴绕自身轴向转动穿设所述第一动密封组件；所述第一直驱马达安装于所述第一固定组件，所述第一直驱马达的输出端连接于所述传动轴，以驱动所述传动轴转动。
【技术特征摘要】
1.一种旋转馈入装置，其特征在于，包括第一固定组件、传动轴、第一动
密封组件及第一直驱马达；
所述第一固定组件包括第一固定座，所述第一固定座上设有轴孔；
所述第一动密封组件安装于所述轴孔中，用于所述传动轴与所述第一固定
座之间的密封；
所述传动轴绕自身轴向转动穿设所述第一动密封组件；
所述第一直驱马达安装于所述第一固定组件，所述第一直驱马达的输出端
连接于所述传动轴，以驱动所述传动轴转动。
2.根据权利要求1所述的旋转馈入装置，其特征在于，所述第一固定座为
一端闭合的筒状，所述轴孔开设在第一固定座的闭合端；所述第一固定座上相
对闭合端的另一端密封设置以形成一密闭腔体，所述第一直驱马达的输出端位
于该密闭腔体中。
3.根据权利要求2所述的旋转馈入装置，其特征在于，所述第一固定组件
还包括第一支撑套筒及第一端盖，所述第一固定座上相对闭合端的另一端与所
述第一支撑套筒的一端固定连接，所述第一支撑套筒的另一端与所述第一端盖
固定连接；所述第一直驱马达位于所述第一支撑套筒中。
4.根据权利要求1所述的旋转馈入装置，其特征在于，所述第一动密封组
件包括套筒、磁流体密封件及密封圈，所述套筒固定于所述轴孔中，所述密封
圈设置在所述套筒与所述第一固定组件之间，所述传动轴绕自身轴向转动套设
在所述套筒内，所述磁流体设置在所述套筒的内壁与所述传动轴之间。
5.根据权利要求1至4任一项所述的旋转馈入装置，其特征在于，所述旋
转馈入装置还包括第二固定组件及第二直驱马达；
所述第一固定组件转动连接于第二固定组件；
所述第二直驱马达固定于第二固定组件，其输出端连接于所述第一固定组
\t件或所述第一直驱马达，以驱动所述第一固定组件转动。
6.根据权利要求5所述的旋转馈入装置，其特征在于，所述第二固定组件...
【专利技术属性】
技术研发人员：何祝兵，苏奇聪，王春柱，
申请(专利权)人：南方科技大学，
类型：新型
国别省市：广东;44
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