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压力传感器芯片制造技术
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文档序号:16282892
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提供一种压力传感器芯片,减少因传感器隔膜的限制产生的应力,并防止向隔膜边缘的应力集中,确保期待的耐压。在挡块构件(11-2)的周边部(11-2c)形成连接于其周边部(11-2c)的非接合区域(S1b)的、向挡块构件(11-2)的厚度方向突出...
该专利属于阿自倍尔株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过阿自倍尔株式会社授权不得商用。
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