下载压力传感器芯片的技术资料

文档序号:16282875

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本发明提供一种压力传感器芯片,减少因传感器隔膜的限制产生的应力,防止向隔膜边缘的应力集中,确保期待的耐压。在挡块构件(11-2)内部的、与传感器隔膜(11-1)的受压面平行的面(PL)的一部分设置连通于导压孔(11-2b)的周部的非接合区域...
该专利属于阿自倍尔株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过阿自倍尔株式会社授权不得商用。

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